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克日 ，毅往事毅告竣本实现对于无锡星微科技有限公司（如下简称“星微科技”）的毅往事投资
。这也是毅往事毅告竣本自2021年初次投资后，对于星微科技实施的毅往事第二轮投资 。

星微科技建树于2015年，毅往事主要面向半导体配置装备部署规模提供详尽行动操作产物；2017年开始晶圆传输零星产物的毅往事妄想研发；2019年研发破费晶圆传输零星中间产物晶圆传输机械臂；2020年起
，公司的毅往事详尽行动平台及传输零星在半导体量检测类
、泛半导体详尽制作等配置装备部署实现批量出货  。毅往事

“半导体配置装备部署由数不胜数的毅往事零部件组成 ，这些零部件的毅往事功能 、精度 ，毅往事直接影响着配置装备部署的毅往事坚贞性以及晃动性，也是毅往事我国在半导体制作能耐回降级迭代的关键因素 。”星微科技董事长陆敏杰介绍 ，毅往事公司从一起头就抉择超详尽行动平台以及晶圆传输配置装备部署两大中间产物，毅往事助力被“洽谈”的半导体配置装备部署的国产化。

其中，晶圆传输配置装备部署，用于晶圆在各个半导体配置装备部署间的传输使命 ，是所有半导体制程、检测配置装备部署都必不可少的关键组成部份。星微科技当初已经实现为了中间部件的自主化
，随着国内半导体配置装备部署零部件国产替换减速  ，量产后相对于外洋品牌 ，价钱、交期、效率等优势将会凸显。

超详尽行动平台操作零星 ，是晶圆光刻、缺陷检测 、芯片封装等配置装备部署的中间模块 ，主要职能是承载晶圆 、芯片凭证指定的行动轨迹做高速、高精度定位等一系列极致行动。相较于外洋厂家大多接管的直销概况署理商方式，星微科技的高精度行动平台具备性价比更高 、反对于定制化 、交货周期更短等优势
 。

毅告竣本先进制作投资事业部徐杰博士以为，半导体配置装备部署国产化不断睁开，国内半导体配置装备部署及零部件企业功劳正逆势削减。星微科技作为国内高精度行动平台以及晶圆传输配置装备部署提供商，具备底层妄想以及制作能耐，其破费工艺波及详尽机械制作、工程质料、工程妄想等多个规模，可能与头部半导体配置装备部署客户组成高效相助研发以及快捷迭代 。当初公司多款产物  ，特意是先进制程配置装备部署产物已经导入头部半导体配置装备部署客户，并组成批量销售。本轮为毅告竣本对于星微科技的第二次投资，公司不断看好星微科技的睁开 ，同时期待星微科技可能不断美满高端零部件产物妄想，减速该规模的进口替换 。